台積電在宣布不進駐桃園以後，可以看到全台各縣市都在爭取，在11月底立法院經濟委員會南下考察時，立委郭國文就認為南科最適合，不但有台積電5奈米、三奈米進駐，形成完整先進半導體聚落，立委還邀請首任南科管理局長戴謙助陣，共同提出包括土地納編、中央與地方共同協助，積極爭取台積電1.4奈米設在南科。
由立法委員郭國文服務處發起，爭取台積電1.4奈米設在南科座談會，會中邀請中央包括國科會、經濟部、水利署與台電，以及地方經發、都發與地政等單位座談，會中立委郭國文表示，目前南科周邊ABC區產業用地，如果能納入科學園區，加上南科三期擴建土地，很符合台積電1.4奈米設廠空間，並進一步了解納編期程，對此國科會與南科管理局回應至少2年左右(現場)
除了土地納編讓整體園區發展由國科會介入處理，預計南科三期擴建與ABC特區土地在民國115年取得，另外在水與電部分，經濟部官員也表示沒問題，以目前台南三大水庫、再生水廠還加上海水淡化廠預計民國117年完工，相信能滿足高科技產業製程用水需求，加上南科三期預留台電變電所，立委表示地方都準備好，只等待台積電最後決定。
